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P產品分類RODUCT CATEGORY
是德科技 Keysight B1500A 半導體器件參數分析儀，則是一體化器件表征領域的另一座高峰。這款多功能分析儀支持 IV、CV、脈沖 / 動態 IV 等全維度測量技術，主機可靈活搭配大功率源表、高分辨率源表、多頻率電容測量單元、超快脈沖測量單元等十余種插件模塊，最小測量分辨率可達 0.1fA，最小選通脈寬低至 10ns，能夠覆蓋從成熟制程到優良工藝、從分立器件到大規模集成電路的全品類表征需求
產品型號：廠商性質：代理商更新時間：2026-04-07訪 問 量：99
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支持的模塊及對應主要技術指標：
主要特性
支持的模塊：B1520A 多頻率電容測量單元（MFCMU）
主要技術指標：頻率范圍為 1kHz 至 5MHz，SMU 和 SCUU 提供 25V 內置直流偏置和 100V 直流偏置
主要特性：交流阻抗測量（C-V、C-f、C-t），使用自動切換通過 SCUU 輕松、快速、精確地進行 IV 和 CV 測量
支持的模塊：B1530A 波形發生器 / 快速測量單元（WGFMU）
主要技術指標：用于波形生成的 10ns 可編程分辨率，200MSa/s 同時高速測量，10V 峰峰值輸出
主要特性：無負載線效應；使用 SMU 技術進行精確的脈沖 IV 測量，支持 NBTI/PBTI、RTN 等優良應用
支持的模塊：B1525A 高電壓半導體脈沖發生器單元（HV-SPGU）
主要技術指標：高達 ±40V 高電壓輸出
主要特性：能夠在每個通道上生成二電平和三電平脈沖和任意波形，適用于非易失性存儲器測試
支持的模塊：B1542A 10ns 脈沖 IV 參數測試解決方案
主要技術指標：最小選通脈寬 10ns，上升和下降時間為 2ns，1μs 電流測量分辨率
主要特性：精確的 Id-Vd 和 Id-Vg 測量，在直流測量和脈沖測量之間輕松切換
模塊選型指南
測量資源 | 所需模塊/擴展器 | 所需插槽 | 最高配置 | 主要技術指標 |
大功率源（HPSMU） | B1510A 高壓開關柜 | 2 | 4 | 高達 200 V，1 A 電力10 fA 電流測量分辨率 |
中功率 SMU（MPSMU） | B1511B 多功能服務模塊 | 1 | 10 | 高達 100 V，100 mA 電力，10 fA 電流測量分辨率 |
大電流源（HCSMU） | B1512A 高容量微型單元 | 2 | 2 | 20 A/20 V（脈沖）；1 A/40 V（直流）*1 |
高壓源測量單元（HVSMU） | B1513C 高壓開關模塊 | 2 | 5 | 1500 V/8 mA；3000 V/4 mA；（脈沖和直流） |
中電流源（MCSMU） | B1514A 多功能控制系統模塊 | 1 | 6 | 1 A/30 V（脈沖）；100 mA/30 V（直流） |
多頻電容測量單元（MFCMU） | B1520A 多功能控制模塊 | 1 | 1 | 1 kHz 至 5 MHz。0 至 ±25 V，使用 MFCMU 內部直流偏置 |
高壓中電流單元（HVMCU） | N1266A HVSMU 電流擴展器， | 4 - 6 | 1 | ±1500 V/2.5 A（脈沖），±2200 V/1.1 A（脈沖） |
超大電流單元（UHCU） | N1265A 超大電流擴展器/夾具 | 2 - 4 | 1 | 1500 A/60 V（脈沖），22.5 kW 峰值功率， |
超高電壓單元（UHVU） | N1268A 超高壓擴展器 | 2 - 3 | 1 | 10千伏/10毫安（直流），10千伏/20毫安（脈沖） |
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