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P產品分類RODUCT CATEGORY
VT321半導體參數分析儀，支持SMU、LCR、PGU、PMU等PXIe標準模塊，滿足復雜測試需求。配備15.6英寸高清屏，預裝Windows 10及VTNext軟件，提供I-V、C-V、脈沖I-V測試功能，內置MOSFET、BJT、二極管、電阻及電容等豐富的器件類型庫，為現代半導體、材料和工藝表征提供高級測試定義、參數分析、圖表繪制和自動化功能。
產品型號：廠商性質：代理商更新時間：2026-03-27訪 問 量：83
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VT321半導體參數分析儀介紹：
VT321半導體參數測試儀，支持SMU、LCR、PGU、PMU等PXIe標準模塊，滿足復雜測試需求。配備15.6英寸高清屏，預裝Windows 10及VTNext軟件，提供I-V、C-V、脈沖I-V測試功能，內置MOSFET、BJT、二極管、電阻及電容等豐富的器件類型庫，為現代半導體、材料和工藝表征提供高級測試定義、參數分析、圖表繪制和自動化功能。
是國產設備全面對標國際旗艦的標志性產品。其核心 IV 性能實現了 ±200V 寬電壓范圍覆蓋，電流靈敏度達到 0.1fA 的行業頂尖水準，直流電流范圍 ±1A、脈沖電流可達 ±3A，采樣率高達1.8MS/s；CV測試覆蓋 20Hz-10MHz 超寬頻率范圍，PGU 脈沖單元最小脈寬可達 25ns，可編程分辨率低至 2.5ns。從核心指標來看，VT321已實現對泰克 4200A-SCS、是德 B1500A 的全面對標，補齊了國產設備在高精度、全功能集成上的核心短板，目前已獲得多家高校實驗室與功率器件企業的批量采購。
IV技術指標
電壓范圍：±200V
電壓靈敏度：100nV
電流范圍：±1A(直流)，±3A(脈沖）
電流靈敏度：0.1fA
采樣率：1.8MS/s
CV技術指標
測試頻率：20Hz-10MHz
AC 信號源：電壓：10mVrms-2Vrms (f≤1MHz)、1Vrms (f>1MHz)；電流：50 pArms-100mArms
DC偏置：電壓：±40V；電流：±100mA
PGU技術指標
頻率范圍：0.1Hz-20MHz
脈沖周期：可編程范圍50ns-10s；分辨率：10ns
脈沖寬度：可編程范圍 25ns-(脈沖周期－25ns）；分辨率：2.5ns（Tr and Tf≤8 μs）、10ns（TrandTf>8 us)。
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